1/38 CM-050-V01 在 LCD 制造中安装减排设施减少 SF6排放 （第一版） 一、 来源、定义和适用条件 1. 来源 本方法学参考 UNFCCC EB 的 CDM 项目方法学 AM0078 Point of Use Abatement Device to Reduce SF6 emissions in LCD Manufacturing Operations（第2.0 版），可在以下网址查询 http//cdm.unfccc.int/ologies/DB/OBL29PEZ5MIIFE3T6YNRYPRX98RJK3 本方法学同时参考以下工具的最新版本 y “基准线情景识别与额外性论证组合工具” ； y “电力消耗导致的基准线、项目和 /或泄漏排放计算工具； y “化石燃料燃烧导致的项目或泄漏二氧化碳排放计算工具” 。 本方法学同时参考了以下美国环保署方法的最新版本 y 美国环保署方法 1 – 固定污染源的采样及横向速度梯度； y 美国环保署方法 2 – 确定烟气速度及体积流量； y 美国环保署方法 4 – 确定烟气中的水份含量。 2. 定义 液晶显示屏（ LCD） 一种利用两片平行玻璃及其中放置的液态晶体的显示技术。 四极质谱分析器（ QMS） 一种可以将原子或分子电离成指定数量的离子，并将这些离子按照其质量与电荷的比率进行归类的分析系统。归类之后，每种离子通过法拉第杯或电子倍增器进行收集。 傅里叶变换红外（ FTIR）光谱仪 一种由中红外辐射源、干涉仪、已知吸收路径长度的密闭样品管、红外检测仪、各组件间传递红外辐射的光学元件和一套电脑系统组成的分析系统。时域检测器响应（干涉图）通过傅里叶变换，得出检测器响应与红外线频率之关系的图像。 3. 适用条件 本方法学适用于安装燃烧或热销毁装置，以减少 LCD 蚀刻厂的 SF6排放。LCD 蚀刻厂的当前情景为 SF6排入大气。 2/38 本方法学的适用性条件如下 y 截至 2009 年 1 月 31 日，现有生产线需具有项目活动实施之前至少 3 个自然年度的 SF6购买、消耗和 LCD 基板产量的数据。而且计入期仅限于项目审定时现有生产线的剩余寿命期之内。 y 消除系统的最大 SF6消除能力应高于项目活动实施之前最近 3 个日历年度中，进入消除系统的 SF6和废气（ SF6及所有其他副产品和稀释剂）的最大历史流量。 y 没有法律法规强制要求分解、销毁、回收或替代 SF6或含 SF6废气中的任何组分。 y SF6销毁与 SF6使用应在同一工业地点进行， 而且待销毁的 SF6不能来自于其他设施。 y 为了确定进入消除装置的 SF6流量， 需要在消除装置之前直接进行测量；测量点与消除装置的入口点之 间不存在其他可能导致 SF6转化或分解，进而导致 SF6流量发生变化的装置。 y 需要满足美国环保署方法 1 和方法 2 的适用性条件（即，废气的流动形式不能是气旋或涡流， 而且排气管道的圆形横截面的直径应大于 0.3 米） 。 y 设施应具备国家法律规定的全部安全和健康许可，以便安装并运行消除装置及监测设施。 y SF6不能临时存贮起来以供将来销毁。 y 通过生产厂家或项目参与方的测试数据，可以证明 SF6消除技术不会产生其他可检测的非 CO2温室气体，如氟化物或京都议定书中未做规定的其他温室气体。 此外，还应同时满足上述参考工具中包含的适用性条件。 本方法学目前不适用于化学气相沉积（ CVD）工艺中使用 SF6的流程。 二、 基准线方法学 1. 识别基准线情景和额外性论证 项目参与方应采用以下步骤来识别基准线情景 本方法学建议采用最新版的“基准线情景识别与额外性论证组合工具” （组合工具）。 识别基准线情景 3/38 可能的基准线替代方案应包括 1 在没有自愿减排的情况下实施本项目，并安装消除装置； 2 继续使用 SF6，不做任何消除处理； 3 使用一种气体替代 SF6； 4 通过调整或优化流程，减少 SF6消耗； 5 在真空泵的出口处收集并回收 SF6。 在列出这些替代方案（以及其他合适的方案）之后，项目参与方应按照“基准线情景识别与额外性论证组合工具”中的步骤 1b，分析是否所有的替代方案都符合当地的法律规定。如果在确定基准线情景的过程中，两个或更多个基准线替代方案具有相同的“可能性”，那么最切实可行的基准线情景应该是排放量最低的情景。本方法学只有在基准线情景为“继续使用 SF6，不做任何消除处理”的情况下才适用。 对于大多数可以预见的项目活动， 由于消除装置需要购买和运行的资金投入但不会增加工厂的产出，因此适合采用投资分析来论证额外性。本方法学针对识别基准线情景、论证额外性以及确定基准线排放、项目排放和泄漏说明如下。 “基准线情景识别与额外性论证组合工具” 中列出了多种障碍 （技术、 首例、投资障碍等）。依据所选取的情景，可能存在以下障碍，包括 y 新的消除或销毁技术之前从未引进到市场。例如，许多 FC 消除装置在发达国家中刚刚开始使用，因此可能面临这一障碍。通常情况下，新的技术经常会面临市场准入问题，客户也可能不愿对一项未经过实践测试的技术进行投资。自愿减排可能会帮助投资者弥补一些额外的投资成本，并且帮助 LCD 生产商降低认知风险。 y 投资障碍 /更高的运行成本如果没有自愿减排，所有的消除装置都需要一笔不可回收的投资和大笔的运行成本。所以对于 LCD 生产商而言，他们几乎没有直接的商业动机来进行此类的投资、占据宝贵的生产空间、负担维护成本。这些额外的费用意味着 LCD 生产商每年需要支付更高的运行和维护成本（按照“基准线情景识别与额外性论证组合工具”中的步骤 3） . 这一列表提供了 LCD 制造业中 SF6消除装置可能面临的一些潜在障碍的例子。 2. 项目边界 项目边界的空间范围包括进行 SF6减排的 LCD 工厂。 4/38 项目边界内包括或排除的温室气体排放源见表 1。 表 1项目边界内包括或排除的排放源 排放源 气体 是否包括 说明理由 /解释 基准线 在蚀刻工艺中使用 SF6CO2否 不适用 SF6是 主要的气体，将在项目情景中被消除 项目活动 未消除的 SF6及 CO2排放 CO2是 用于运行 SF6消除工艺所消耗的电力和化石燃料产生的排放 SF6是 一小部分（通常低于 5）的 SF6无法通过项目消除 3. 基准线排放 第 y 年的基准线排放基于当年输入消除装置的 SF6量进行计算。 为了防止刻意增加基准线排放，需要基于历史 SF6消耗量设定基准线排放的上限。此外，如果存在单位面积 LCD 基板的 SF6消耗量增加的情况，则需要使用折减系数（ k）进行折减。 基准线排放的计算公式如下 6,6 SFySFyGWPEkBE 1 其中 BEy 第 y 年的总基准线排放量（ tCO2） k 用于避免在蚀刻工艺中刻意增加 SF6用量的折减系数 ESF6,y 第 y 年基准线情景中排放的 SF6量（ t） GWPSF6 SF6的全球温增潜势（ tCO2/tSF6） 确定 ESF6,y第 y 年基准线情景中排放的 SF6量应为以下三项的最小值 a 第 y 年输入消除装置的 SF6量； 5/38 b 第 y 年理论估算的 SF6排放量；和 c 历史年度中，理论估算的 SF6排放量。 这种计算方式可以避免由于刻意增加 SF6消耗量而导致的基准线排放的增加。 }432.0;432.0;min{,6,6,,,6,6 histSFySFyadjinSFySFCCEE 2 其中 ESF6,y 第 y 年基准线情景中排放的 SF6量（ t） ESF6,in,adj,y 经调整的第 y 年输入消除装置的 SF6气量（ t） CSF6,y 项目年度 y 的 SF6年消耗量，定义为具体项目年度 y 中购买的 SF6总量，同时还应考虑当年库存的变化（ t） CSF6,hist SF6历史消耗量（ t） 0.432 工艺流程中，未销毁或转化的 SF6占 SF6消耗量的比例。该数值的计算依据为 2006 IPCC 指南中销毁 /分解的默认因数（ 0.4），同时考虑 20的不确定性，以及装运容器中剩余气体的默认比例（ 0.10），即（ 1-0.4） 0.8（ 1-0.10） 0.432 确定 CSF6,hist 3,62,61,6,6;;max−−−SFSFSFhistSFCCCC 3 其中 CSF6,hist 历史 SF6消耗量（ t） CSF6,-1, CSF6,-2, CSF6,-3, 在项目活动实施之前， 2009 年 1 月 31 日之前的历史 SF6消耗量（ -1 为一年前， -2 为两年前， -3 为三年前），（单位为 t）确定 k k 值的确定方式如下 如果 6/38 yprojectySFratioSPCSF,,6,6≥ 4 k1，否则 yprojectySFratioSPCSFk,,6,6 5 其中 k 用于避免在蚀刻工艺中刻意增加 SF6用量的折减系数 SPproject,y 项目年度 y 中 LCD 基板的产量（ m2） CSF6,y 项目年度 y 的 SF6年消耗量，定义为具体项目年度 y 中购买的 SF6总量，同时还应考虑当年库存的变化（ t） SF6,ratio SF6消耗量与所处理的 LCD 基板面积之比（ t//m2） 确定 SF6,ratioSF6,ratio确定为项目活动实施之前， 2009年 1月 31日之前三年 （ -1， -2和 -3）的 SF6消耗量与 LCD 产量的历史比率。 ⎟⎟⎠⎞⎜⎜⎝⎛−−−−−− 2633,622,611,6,6/mSFt 0002.0;;;minSPCSPCSPCSFSFSFSFratio6 其中 SF6,ratio SF6消耗量与所处理的 LCD 基板面积之比（ t//m2） CSF6,-1,CSF6,-2,CSF6,-3 项目活动实施之前， 2009 年 1 月 31 日之前年度（ -1 为一年前， -2 为两年前， -3 为三年前）的历史 SF6消耗量（ t） SP-1, SP-2, SP-3 项目活动实施之前， 2009 年 1 月 31 日之前年度（ -1 为一年前， -2 为两年前， -3 为三年前）的历史 LCD 基板产量（ m2） 0.0002 2006 IPCC指南中方法 1中确定的半导体工业 SF6排放的7/38 气体排放系数（ 0.2 kg-SF6/m2基板） 确定 ESF6,in,adj,yESF6,in,adj,y确定为 exSFyinSFyadjinSFCAPEE,6,6,,6−7 其中 ESF6,in,adj,y 经调整的第 y 年输入消除装置的 SF6气量（ t） ESF6,in,y 第 y 年输入消除装置的 SF6气量（ t） CAPSF6,ex 已有消除装置的设计处理能力（在 生产设施中已经装有消除装置的情况下），假设已有的消除装置全年（即 8760 小时）中均以满负荷水平运行（ t）。如果生产设施中没有已经安装的消除装置，则 CAPSF6,ex的值为 0 测量设备的校准，以及测量消除系统输入、排出的 SF6量 为了监测气体流速并计算消除系统入口和出口出的流量， 需要对阿牛巴装置进行校准。阿牛巴装置在气道的横截面上取多个采样点，以考虑横截面上流量的波动。接下来，按照美国环保署方法 2 中规定的系统方法计算流量。在测量和计算流量的过程中，也可以使用其他国内或国际认可的标准，如 ISO 5167。按照环保署的方法，需要基于消除系统气道入口、出口处横截面上每个气体流速采样点的压差的测量值和平均值计算消除系统入口和出口处的平均体积流量。 如果阿牛巴装置可以在流体剖面的 80以上的区域中采样，那么应当使用阿牛巴装置。1阿牛巴装置的校准方法和质量保证 /质量控制程序见附件 1.b.。 为了将消除系统出入口测量的 SF6浓度转化为消除系统输入、 排出的 SF6量，需要测量气体的质量密度和气体流量。 SF6量与消除系统出入口的流量和 SF6浓度之积为比例关系。出入口的 SF6流量的测量需要测量出入口气体流速、确定气体的质量密度，同时考虑气体的干分子量以及含水率。 消除装置出入口气流中的含水率（ Bws,in和 Bws,out）应按照美国环保署方法 4确定，含水率的测量应基于体积百分比得出。 1对于阿牛巴装置，项目参与方应按照生产厂家的推荐进行校准、运行以及流量计算。 8/38 入口气体的干基分子量（ Md,in）应在消除系统入口处使用 QMS 在标准工况下，通过定量测量 SF6、 Ar、 O2、 CO2和 N2的平均相对浓度（质量百分比）确定得出。实验顺序如下 i. 使用 QMS 对气流进行初步采样，确定气流的组分（通过确定质荷比和识别红外吸收波段的方式）； ii. 按照步骤 1中确定的每项组分对应的气体标准， 校准 QMS系统，使浓度值大于 100 ppmv； iii. 在正常生产运行期间，测量期间应不少于 6 个小时。 项目参与方应证明气道入口处的气体分子量在 6 个小时的测量期间内与平均值之间的偏差不超过 /- 5（如果无法满足这一要求， 需要重新进行测量）。作为一种保守的测量方式，项目参与方应记录 6 个小时测量期间内，入口气体分子量（ Md,in）的最大值。 Md,in取为 6 个小时测量期间内，入口气体分子量的最大值，计算方法见公式 8。 ][280.0][320.0][399.0][44.0][460.12226, inininininindNOArCOSFM 8 其中 Md,in 入口气体的总分子量（g/摩尔） SF6in, N2in 各气体组分的平均相对浓度（质量百分比） 如果在消除系统入口处，除了 N2、 O2、 Ar、 CO2和 SF6之外，还有其他气体的浓度超过 100ppmv，项目参与方需要在入口气体的总分子量（ Md,in）中考虑这些气体，即使用它们的相对浓度乘以各自的分子量，然后加到公式 8 的计算结果中。例如，如果在入口处，测量得到一氧化碳（ CO）的浓度为 200ppm，那么在计算总的入口气体分子量时，需要在公式 8 的计算结果中加上0.28x0.020.0056。 QMS 需要针对消除装置入口处每一种浓度超过 100ppmv 的气体组分进行校准，校准方式见附件 1.a.（用相关的气体替代 SF6）。 气道出口气体的干基分子量（ Md,out）需要在正常生产时，使用 QMS 在消除系统出口定量测量 SF6、 Ar、 O2、 N2、 CO、 CO2、 F2、 HF、 SO2、 SOF2和 SO2F2的相对浓度（质量百分比）计算得到。测量期间应不少于 6 个小时。项目参与方应证明气道出口处的气体分子量在 6 个小时的测量期间内与平均值之间的偏差不超过 /- 5（采用 95的置信区间）（如果无法满足这一要求，需要重新进行测量）。出口气体的干基分子量（ Md,out）应取 6 个小时的测量期间内的最小值。由于出口气体分子量偏低，会导致项目排放量增加，因而这是保守的。因此，9/38 Md,out定义为 6 个小时的测量期间内，出口气体分子量的最小值，计算方法见公式 9。 ][021.1][861.0][641.0][200.0][380.0][44.0][28.0][280.0][320.0][399.0][460.1222222226,outoutoutoutoutinoutoutoutoutoutoutdFSOSOFSOHFFCOCONOArSFM9 其中 Md,out 出口气体的总分子量（ g/摩尔） SF6out, . SO2F2out 各气体组分的平均相对浓度（质量百分比） 如果在消除系统出口处，除了上述列出的气体之外，还有其他气体的浓度超过 100ppmv，项目参与方需要在出口气体的总分子量（ Md,out）中考虑这些气体，即使用它们的相对浓度乘以各自的分子量， 然后加到公式 9 的计算结果中。 例如，如果在出口处，测量得到碳酰氟（ COF2）的浓度为 150ppm，那么在计算总的出口气体分子量时，需要在公式 9 的计算结果中加上 0.66x0.0150.0099。 QMS 需要针对消除装置出口处每一种浓度超过 100ppm 的气体组分进行校准，校准方式见附件 1.a.（用相关的气体替代 SF6）。 根据美国环保署方法 2，消除装置出入口的总 （湿基） 气道气体分子量 （ Ms,in, Ms,out）的计算方法见公式 10 和公式 11 inwsinwsindinsBBMM,,,,18.0100100− 10 outwsoutwsoutdoutsBBMM,,,,18.0100100− 11 其中 Ms,in、 Ms,out 消除系统入口、出口的气道气体分子量（ g/摩尔） Md,in、 Md,out 气道入口、出口气体的总干基分子量（ g/摩尔） Bws,in、 Bws,out 气道入口、出口气流中水蒸气含量（体积百分比） 根据美国环保署方法 2，气道入口、出口气体的平均流速（ vs,in， vs,out）的计算公式如下 10/38 insinsinsinavginppinsMPTpCKv,,,,,, 12 outsoutsoutsoutavgoutppoutsMPTpCKv,,,,,, 13 其中 vs,in、 vs,out 气道入口、出口气体的平均流速（ m/秒） Kp 速度方程常数（ 34.97 m/秒） Cp,in、 Cp,out 气道入口、出口的阿牛巴装置常数（无量纲） pavg,in、pavg,out 气道入口、出口的平均速位差测量值 b，通过阿牛巴装置测量得到（ mmH2O） Ts,in、 Ts,out 气道入口、出口的绝对温度（ K） Ps,in、 Ps,out 气道入口、出口的绝对压力（ mmHg） Ms,in、 Ms,out 消除系统入口、出口的气道气体分子量（ g/摩尔） 根据美国环保署方法 2，消除装置入口、出口处气体的平均干基体积总流量（ Qin和 Qout，单位为标准立方米 /秒）的计算公式如下 ⎥⎦⎤⎢⎣⎡−stdinsinsstdininsinwsinPTPTAvBQ,,,,10010014 ⎥⎦⎤⎢⎣⎡−stdoutsoutsstdoutoutsoutwsoutPTPTAvBQ,,,,10010015 其中 Qin、 Qout 入口、出口处气体的体积流量（ m3/秒） Bws,in、 Bws,out 气道入口、出口气流中水蒸气含量（体积百分比） vs,in、 vs,out 气道入口、出口气体的平均流速（ m/秒） 11/38 Ts,in、 Ts,out 气道入口、出口的绝对温度（ K） Ps,in、 Ps,out 气道入口、出口的绝对压力（ mmHg） Ain、 Aout 圆形入口、出口气道的横截面面积（ m2），其直径应大于 0.3mTstd 标准绝对温度（ 293K） Pstd 标准绝对压力（ 760mm Hg） 单位时间内消除装置输入和排出的 SF6量（ ESF6,in、 ESF6,out，单位为 g/秒）的计算方式为体积总流量（ Qin、 Qout，单位为标准立方米 /秒）乘以入口出口的SF6浓度（单位 ppm），再乘以 SF6摩尔质量到摩尔体积的换算系数2inininSFSFQE6,618.65 16 outoutoutSFSFQE6,618.65 17 其中 ESF6,in、 ESF6,out 消除系统入口、出口处的 SF6流量（ g/秒） SF6in、 SF6out 入口、出口处的 SF6浓度（体积百分比） Qin、 Qout 入口、出口处的体积流量（ m3/秒） 65.18 常数 4. 项目排放 项目排放包括 1 消除装置无法完全销毁 SF6产生的排放；和 2 消除装置的电力和 /化石燃料消耗产生的 CO2排放，以及非运行条件下进入消除装置的 SF6产生的排放 项目排放的计算公式如下 2这里的体积与质量的换算系数的计算方式为使用 SF6 的摩尔质量（ 146g/摩尔），除以其标况下的体积（ 22.4L/摩尔）。由此得出，每向消除装置中输入 1 立方米 SF6，相当于 6,518g 的 SF6。 12/38 yECyFCySFyPEPEPEPE,,,618 其中 PEy 第 y 年的项目排放（ tCO2） PESF6,y 第 y 年消除装置无法完全销毁 SF6产生的项目排放（ tCO2） PEFC,y 第 y 年消除装置的化石燃料消耗产生的项目排放（ tCO2） PEEC,y 第 y 年消除装置的电力燃料消耗产生的项目排放（ tCO2） 确定消除装置无法完全销毁 SF6产生的项目排放 通过以下公式来估算消除装置无法完全销毁 SF6所产生的排放 6,,6,6 SFyoutSFySFGWPEPE 19 其中 PESF6,y 第 y 年消除装置无法完全销毁 SF6产生的项目排放（ tCO2） ESF6,out,y 第 y 年消除装置排出的 SF6气量（ t） GWPSF6 SF6的全球温增潜势（ tCO2/tSF6）3确定消除装置的化石燃料消耗产生的项目排放 第 y 年消除装置的化石燃料消耗产生的项目排放（ PEFC,y）应按照最新版的“化石燃料燃烧导致的项目或泄漏二氧化碳排放计算工具”进行计算。工具中的“来源 j”相当于包括消除系统在内的整个项目活动中，所有的化石燃料消耗所对应的排放来源。在项目设计文件中，应明确地说明所有的排放源。 确定消除装置的电力燃料消耗产生的项目排放 第 y 年消除装置的电力燃料消耗产生的项目排放（ PEEC,y）应按照最新版的“电力消耗导致的基准线、项目和 /或泄漏排放计算工具”进行计算。工具中的“电力消耗来源 j”相当于包括消除系统在内的整个项目活动中，所有由于电力消耗所对应的排放来源。在项目设计文件中，应明确地说明所有的排放源。 323.9 tCO2/kg SF6– 参见 IPCC 第 4 次评估报告。 13/38 质量保证 /质量控制（ QA/QC）程序 除了要在 FTIR 及 QMS 系统的校准过程（见附件 1.a.）中计算标准差和 R2值，项目参与方还应当实施以下质量保证 /质量控制程序 步骤 1阿牛巴装置校准和维护的质量保证 /质量控制程序 项目参与方应遵循美国环保署方法 1、 2 和 4 中要求的保证 /质量控制程序，包括提供合适的证据来说明测量期间内阿牛巴装置的开口处没有堵塞。 为实现这一目的，可以对比使用压缩气体反清洗阿牛巴装置前、后的速度差的测量结果。如果反清洗前、后的速度差小于 5，那么测量的数据就可以接受。如果反清洗方法不足以确保阿牛巴装置的清洁程度（速度差超过 5），项目参与方需要确定阿牛巴装置的最低维护频率， 以及人工清洁阿牛巴装置的程序。 为了清晰起见，最低的维护频率应确保，在阿牛巴装置清洁的过程中，阿牛巴装置入口、出口处的速度差不超过 5。项目参与方需要将维护计划作为一个非监测的参数进行记录。 步骤 2消除系统维护的质量保证 /质量控制程序 项目参与方应按照消除装置生产厂商的推荐来维护消除装置， 包括检查和清洁程序、更换耗材。 步骤 3 FTIR 系统维护的质量保证 /质量控制程序 为了检测 FTIR 窗口涂层导致 FTIR 系统在校准时产生的最终漂移，运营人员需要按照附件 1.a.中提供的程序，定期校准 FTIR 系统。如果发现校准曲线的斜率偏差超过 5（与初始评估阶段的参考校准曲线相比），项目参与方需要清洁或更换 FTIR 窗口，并且重新按照附件 1.a.中提供的程序进行校准。项目参与方需要将 FTIR 窗口清洁或更换的最低频率作为一个非监测的参数进行记录。请注意，消除装置入口处的 FTIR 窗口的涂层会导致 FTIR 吸光率降低，得出的 SF6消除量偏低，最终会使基准线排放的估计值偏低。在取下消除装置进行维护或取下 FTIR 设备进行维护时，都需要重新校准 FTIR 设备。 步骤 4年度监督试验 在开展年度监督试验时，项目参与方需使用 EN14181（自动测量系统的质量保证）中提供的指南。为了确保计入期内，消除系统入口、出口处的测量条件不会发生变化，项目参与方应当按照附件 1.a.和 1.b.中提供的程序，每年对 QMS、FTIR 和阿牛巴装置进行重新校准。 5. 泄漏 本方法学不产生泄漏。 14/38 尽管在消除装置运行的过程中，可能会产生少量的固体废弃物，需要运输至垃圾填埋场，但通常情况下这些固体废弃物会和现有的固体废弃物一并处理，其自身不会导致在垃圾处理的运输过程相关的排放明显增加。 6. 减排量 减排量的计算公式如下 yyyPEBEER − 20 其中 ERy 第 y 年的减排量（ t CO2） BEy 第 y 年的基准线排放量（ t CO2） PEy 第 y 年的项目排放量（ t CO2） 7. 不需要监测的数据和参数 除了以下表格中列出的参数之外， 还需要遵循本方法学所参考的工具中关于“不需要监测的数据和参数”的要求。 数据 /参数 GWPSF6单位 tCO2e/tSF6描述 SF6的全球温增潜势 来源 取值应为 22,800 来源 IPCC 第四次评估报告 测量程序（如果有） - 备注 - 数据 /参数 CAPSF6,ex单位 t/年 15/38 描述 已有消除装置的设计处理能力，假设已有的消除装置全年（即 8760 小时）中均以满负荷水平运行。 来源 生产厂家的说明书 测量程序（如果有） 无 备注 - 数据 /参数 CSF6,-1,CSF6,-2,CSF6,-3单位 t 描述 在项目活动实施之前， 2009 年 1 月 31 日之前的历史 SF6消耗量（ -1 为一年前， -2 为两年前， -3 为三年前）。消耗量的定义为一年中购买的 SF6总量，同时还应考虑当年库存的变化。 来源 购买及库存记录 测量程序（如果有） 购买及库存记录 备注 - 数据 /参数 SP-1, SP-2, SP-3单位 m2描述 项目活动实施之前， 2009 年 1 月 31 日之前年度（ -1为一年前， -2 为两年前， -3 为三年前）的历史 LCD基板产量 来源 生产、销售和库存记录 测量程序（如果有） 无 16/38 备注 - 数据 /参数 消除装置的维护计划 单位 维护需求的清单 描述 完整的设备维护计划 来源 生产厂家的说明书 测量程序（如果有） 无 备注 - 数据 /参数 FTIR 测量装置的维护计划 单位 维护需求的清单 描述 装置的完整维护计划 来源 质量保证 /质量控制程序应遵循项目排放一节中的步骤 3 “FTIR 系统维护的质量保证 /质量控制程序 ” 测量程序（如果有） 无 备注 - 数据 /参数 阿牛巴装置的维护计划 单位 维护需求以及人工清洁时间的清单 描述 阿牛巴装置的完整维护计划 17/38 来源 项目排放一节中质量保证 /质量控制的步骤 1 测量程序（如果有） 对比使用压缩气体反清洗阿牛巴装置前、后的速度差的测量结果。如果清洗前、后的速度差小于 5，那么测量的结果就可以接受。如果反清洗方法不足以确保阿牛巴装置的清洁程度（速度差超过 5），项目参与方需要确定阿牛巴装置的最低维护频率，以及人工清洁阿牛巴装置的程序。 备注 - 数据 /参数 Cp.in单位 气道入口阿牛巴装置的常数（无量纲） 描述 美国环保署方法 2 或者类似的国内或国际认可的标准、由阿牛巴装置生产厂家提供的校准程序 来源 阿牛巴装置的生产厂家 测量程序（如果有） 参见美国环保署方法 2 的第 10 章 备注 - 数据 /参数 Cp.out单位 气道出口阿牛巴装置的常数（无量纲） 描述 美国环保署方法 2 或者类似的国内或国际认可的标准、由阿牛巴装置生产厂家提供的校准程序 来源 阿牛巴装置的生产厂家 测量程序（如果有） 参见美国环保署方法 2 的第 10 章 18/38 备注 - 数据 /参数 Ain单位 m2描述 圆形入口气道的横截面面积，其直径应大于 0.3m 来源 美国环保署方法 1 或者类似的国内或国际认可的标准 测量程序（如果有） 审定过程开始之前，在 SF6消除系统试运行时进行测量 备注 - 数据 /参数 Aout单位 m2描述 圆形出口气道的横截面面积，其直径应大于 0.3m 来源 美国环保署方法 1 或者类似的国内或国际认可的标准 测量程序（如果有） 审定过程开始之前，在 SF6消除系统试运行时进行测量 备注 - 19/38 三、 监测方法学 1. 一般监测规则 所有的监测数据均需要采用电子形式归档， 并至少保存到最后一个计入期结束后 2 年。除非在下表中给出特别说明，所有的参数均需要进行监测。所有的测量工作均需采用按照相关行业标准定期校准的测量设备。 在项目设计文件中，项目参与方应明确保证数据质量的体系的信息。其中应当包括，为了保证并维护所需的测量设备，使其测量数据的品质满足要求，所需要采取的措施 y 所使用测量设备的清单、识别信息及相关描述； y 监测工作质量保证 /质量控制相关的描述； y 组织结构及责任分配； y 测量设备的校准和检定； y 标准设备与数据记录装置之间的关系； y 数据记录的程序。 此外，还需要遵循方法学应用过程中所参考的工具中的监测要求。 监测基准线、项目排放的步骤以及量化不确定性、确保数据质量及保守原则的措施如下 步骤 1监测方法学的实验方案 按照监测方法学，项目参与方应连续测量关于消除系统运行、测量装置、入口出口处的气体流速，以及 SF6消除系统入口和出口的 SF6浓度。关于监测方案的简要描述见图 1。 在蚀刻过程中，含有 SF6及其他副产物（ N2、 Ar、 SiF4、 HF）的气流通过与每个蚀刻室相连的真空泵，从蚀刻室中被排出。气流中的水溶性有毒副产物（ HF、 F2、 SiF4）通过使用终端水洗器被清除。在 SF6消除系统的入口处，只有 SF6、 N2、 Ar 和氧气。由于 SF6的水溶性差，终端水洗器不能清除 SF6。已有的终端水洗器继续以基准线情景中的方式运行。终端水洗器排出的气流，被通过管道送入 SF6消除系统，然后通过高温燃烧的方式将 SF6销毁。 SF6燃烧过程中的副产物（ CO、 CO2、 F2、 HF、 SO2、 SOF2和 SO2F2）则通过最终的水洗器，将其中有害的副产物消除（尤其是 HF 和 F2）。 依据监测程序，需要使用两套 FTIR 系统连续监测 SF6消除系统入口、出口的 SF6浓度，使用阿牛巴装置连续测量气体进入和离开 SF6消除系统时的速度。为 了程 序校 准需 要15、的 其燃 烧估 阶当 确量 相行 直不 会相 关于 流以 下了 确保 FTIR序 ”步骤）准 FTIR 设 备要 建立一 套消除系 统16 和 17 连其 他参数 需烧 过程的 条阶段 （项目 启确 保进入消相 比偏差 超步骤 2 监对于量 化直 接、连续会 过高地 估关 的质量 保流 量测量 的下 步骤。 步骤 2a系统不 会，以及在 取备 （参见 “ FT套 定期校准 的统 输入和排 出连 续进行计 算需 要连续进 行条 件不会发 生启 动时） 的除系统的 气超 过 /- 5时图监 测方法 学化 基准线排 放测量。这 套估 计项目活 动保 证 /质量控的 质量保证 /监测入口 流会 产生漂移取 下消除装IR 系统 维的 体系。 出 的 SF6量算 。 所有 计行 测量。 气生 明显变 化的 出口气体 分气 体流量 可时 ，对基准 线1处理 及学 的质量保 证放 、项目排 放套 方法本身 不动 的减排 量制 程序、 不质 量控制 程流 量的质 量20/38（参见“ F装 置进行维 护维 护和校准 的量 以及入口 、计 算基准线 排气 体流量应化 ， 并且确 保分 子量相 比可 控， 而且 在线 中进入 消及 监测方案 的证 、质量 控放 所需的 所不 需要对 基量 。 除了需 要不 确定性 评程 序，项目量 保证 /质 量TIR 系统 维护 或取下 FT的 质量保 证、 出口处 的排 放和项目连续测量，保 出口气体 分比 不会发生在 气体流量 与消 除系统的的 简要示 意控 制及保守所 有主要参基 准线排放要 遵循基准 线评 估程序， 以参与方需 要量 控制程序 及维 护的质量IR 设备 进证 /质量控 制的 流量需要 按排 放 （燃 料以便确 保分 子量与 6明 显变化。与 初始评 估SF6量进 行意 图 原则 数 ，拟议 的、项目排 放线 方法学 中以 及美国 环要 在整个 监及 保守原 则保证 /质量 控进 行维护时 重制 程序” 步 骤按 照公式 1料 和电力使 用保 监测期内个小时初 始项目参与 方估 阶段的额 定行 折减。 的 方法学要 求放 进行推测中 SF6浓度 测环 保署方法 中监 测期内， 采则 控 制重 新骤 ） ，4、用 ）SF6始 评方 应定 流求 进， 也测 量中 关采 取21/38 项目参与方应确保入口阿牛巴装置的维护频率不低于基准线方法学中的步骤 1 所确定的频率。通过连续监测消除系统入口处的流量（ Q,in），项目参与方应确保消除系统入口处的气流条件与确定基准线时的测量水平（即，步骤 2.2 中测量的 Qin）不发生漂移。依据步骤 2.2，由于采用气道入口处的气体分子量测量结果的最大值来计算入口流量，这是一种保守的计算基准线排放的方式。此外，还需要采用另外一种保守的方式，即如果在监测期间内，消除系统入口气流的测量值与步骤 2.2 中测量的基准流量相比减小 5以上 （即， 当 Qin, monitoring1.05*Qout, baseline时） ， 项目参与方应当对计入期内 SF6排放的测量结果进行折减。当 SF6消除系统出口的气流测量值高于 1.05*Qout, baseline时，项目参与方应找出问题的源头（阿牛巴装置阻塞或出口气体流量真的发生升高）并且将流量恢复到正常运行和减排量测量之前的额定流量。 步骤 2c FTIR 系统维护和校准的质量保证 /质量控制程序 项目参与方应确保， 至少按照生产厂商推荐的频率， 对 FTIR 系统进行维护。项目参与方应向经国家主管部门备案的审定 /核查机构提供明确清楚的证据，来说明 FTIR 系统的维护要求是怎样的，并且确保至少按照所要求的方式进行认真维护。项目参与方还应确保按照项目排放一节步骤 3“ FTIR 系统维护的质量保证 /质量控制程序”中确定的维护程序，对 FTIR 系统窗口进行维护。在取下消除装置进行维护或取下 FTIR 设备进行维护时，都需要按照校准程序，重新对 FTIR设备进行校准。项目参与方应当从计入期内，扣除掉 FTIR 系统维护或校准期间的 SF6排放量。 步骤 2d消除系统维护的质量保证 /质量控制程序 22/38 项目参与方应确保至少按照生产厂家推荐的频率， 对 SF6消除系统进行维护。项目参与方应向经国家主管部门备案的审定 /核查机构提供明确清楚的证据，来说明消除系统的维护要求是怎样的， 并且确保至少按照所要求的方式进行认真维护。 2. 监测的数据和参数 数据 /参数 ESF6,in,y单位 t 描述 第 y 年输入消除装置的 SF6气量 来源 来自于入口处的 FTIR 系统和阿牛巴装置 测量程序（如果有） 单位时间内输入消除装置的 SF6量（ ESF6,in，单位 g/秒）的年度总和 监测频率 每年一次 质量保证 /质量控制程序 应遵循所有生产厂商的维护校准程序和时间计划 备注 为